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產品名稱: GXS450愛德華螺桿泵維修
東莞市揖電真空機電專業GXS450愛德華螺桿泵維修,愛德華GXS450螺桿泵在環境(顆粒,腐蝕物)下有著高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,無需潤滑,這樣就確保了油不會被反抽到系統中。
更新時間: 2024-03-28
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GXS450愛德華螺桿泵維修 的詳細介紹
品牌其他品牌應用領域醫療衛生,食品,化工,生物產業,制藥

東莞市揖電真空機電專業GXS450愛德華螺桿泵維修,愛德華GXS450螺桿泵在(顆粒,腐蝕物)環境下有著高可靠性,例如PECVD,LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間,無需潤滑,這樣就確保了油不會被反抽到系統中。IH600系統有一個HCDP80干泵;HCMB-600干泵。IH600系統適用于無風冷電機的潔凈環境中。IH600干泵系統還擁有運送清潔氣體進入HCDP泵的氣體系統,適用于制程物嚴重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動控制真空系統。另外,可以通過接口模塊或即時通訊模塊或IH單設備監控器使用其他控制設備去操作IH干泵系統。 半導體晶圓廠的應用包括: LOADLOC 傳送 測量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學氣相沉積 高密度等離子體化學氣相沉積快速熱處理 大氣化學氣相沉積sacvd 鎢化學氣相沉積等離子體增強化學氣相沉積 低壓化學氣相淀積。

GX 泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設計允許用戶對 GX1000N干泵進行配置以適合各個工廠的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。

GXS450愛德華螺桿泵維修功能及優勢:低運行成本與 iL/iH 干泵相比,設施成本最多可降低 50%,無需預防性維護,靈活的安裝選項小巧輕便,便于安裝,工具上近程或遠程可以改進工具吞吐量。

可用的快的負載鎖定泵全程一致的泵送性能,在 50 和 60 Hz 下抽速相同,降低了環境噪音僅 55 dB(A)。

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